微不雅装配的制造及其处理技巧
  • 微电机流体装配模块的制造办法
    本案是关于一种微电机模块,尤指一种应用新鲜封装方法来晋升微电机流体装配效力的微电机流体装配模块。随着科技的一日千里,传统的流体保送装配已朝向装配渺小化、流量极大年夜化的偏向停止。在应用上也愈来愈多元化,举凡工业应用、生医应用、医疗保健、电子散热到比来热点的穿着式装配皆可见它的踨影。而近年来微机...
  • 微流体致动器的制造办法
    本案关于一种致动器,尤指一种应用微电机半导体薄膜制造的微流体致动器。今朝于各范畴中不管是医药、电脑科技、打印、动力等工业,产品均朝精细化及渺小化偏向生长,个中微帮浦、喷雾器、喷墨头、工业打印装配等产品所包含的流体致动器为其关键技巧。随着科技的一日千里,流体保送构造的应用上亦愈来愈多元化,举...
  • 一种抗搅扰MEMS器件的制备办法与流程
    本创造触及微机械电子,详细是一种抗搅扰mems器件的制备办法。mems(micro-electro-mechanicalsystems)是微电机体系的缩写,mems制造技巧应用微纳米加工技巧,特别是采取半导体晶圆制造的相干技巧,制造出各类微纳米级机械构造,结合公用控制集成电路(as...
  • 一种碳纳米管平行阵列的制备办法与流程
    本请求触及半导体,更详细地说,触及一种碳纳米管平行阵列的制备办法。碳纳米管,别名巴基管,是一种具有特别构造(径向尺寸为纳米量级,轴向尺寸为微米量级,管子两端根本上都封口)的一维量子材料。传统无序网状的碳纳米管薄膜没法应用碳纳米管的一维各向异性,使得载流子在碳纳米管薄膜中的输运过程当中...
  • 一种抗搅扰MEMS器件的制造办法
    本创造触及微机械电子,详细是一种抗搅扰mems器件。mems(micro-electro-mechanicalsystems)是微电机体系的缩写,mems制造技巧应用微纳米加工技巧,特别是采取半导体晶圆制造的相干技巧,制造出各类微纳米级机械构造,结合公用控制集成电路(asic),组...
  • MOEMS二重量加快度传感器、丈量体系及任务办法与流程
    本地下属于传感器范畴,特别触及一种moems二重量加快度传感器、丈量体系及任务办法。本部分的陈述仅仅是供给了与本地下相干的信息,不用定构成在先技巧。微光电机体系(moems)是微光学和微电机体系(mems)相融合的一种新技巧体系。与传统的光学体系比拟,微光电机体系集成在微米级的体系...
  • 一种高度有序并且反复性好的呈轴对称的周期性的纳米孔洞构造的制备办法与流程
    本创造属于微纳构造制造的,详细触及设计并制备一种高度有序并且反复性好的呈轴对称的周期性的纳米孔洞构造。技巧背景微孔腔状构造在纳米反响器、纳米载药、生物、动力等范畴都具有重要应用前景。可以或许对空洞数量、大年夜小、排各地位停止调控的制备技巧具有重要的实际应用价值。今朝微孔腔状构造制备大年夜多采取化学办法...
  • 一种仿生壁虎极端渐进式刚柔梯度微柱构造的制备办法及其应用与流程
    本创造属于仿生材料,特别触及一种仿生壁虎极端渐进式刚柔梯度微柱构造的制备办法及其应用。本世纪初,关于壁虎粘附机理和仿壁虎粘附材料的开辟,已然生长为学术界多学科交叉的研究热点。壁虎的粘附源于其脚掌上特别多层级微纳刚毛阵列构造,该构造可以或许促进壁虎脚掌与天然界复杂外面构成很好的外形融合,...
  • 一种高度有序倾斜纳米柱的制备办法与流程
    本创造属于周期纳米材料制备,详细触及一种高度有序倾斜纳米柱制备新技巧。技巧背景高度有序倾斜纳米柱阵列在生物、医学、医药、纳米光子学等范畴均具有重要应用。开辟出一种技巧,可以实用于多种材料的纳米棒状构造阵列的制备,异常重要。现有制备倾斜纳米柱的制备采取光刻或电子束刻蚀办法,或许化学腐化办法,...
  • 一种周期波浪状纳米孔构造阵列的制备办法与流程
    本创造属于纳米材料分解,详细触及一种周期波浪状纳米构造阵列制备技巧。技巧背景纳米孔状构造在微流、载药、纳米光子学等方面具有重要感化。而非圆形纳米孔状阵列在定向输运、偏振等范畴具有很重要的应用前景。然则今朝,带有波浪状纳米孔构造的阵列制备办法并未见报导。创造内容为了供给一种周期波浪状纳米孔结...
  • 一种高度有序并且呈轴对称的纳米周期性构造的制备办法与流程
    本创造属于纳米构造转换和复合伙料分解,详细触及设计并制备一种高度有序并且呈轴对称的纳米周期性构造。技巧背景外面等离子体调理控制化学反响在等离子体化学的研究有着广泛的应用前景。外面等离子体的独特的物理效应,这是这些物理效应是基于纳米材料物理构造的改变。磁控溅射是改变已有构造的手段之一。经过过程调...
  • 一种抗搅扰耐过载MEMS加快度计的制备办法与流程
    本创造触及微电机,详细是一种抗搅扰耐过载mems加快度计的制备办法。微机械加快度计是基于微电子机械体系加工技巧制造而成的一种力学量传感器,可以用于惯性力、倾斜角、振动及冲击等惯性参数的丈量。应用微机械加工工艺制造的电容式加快度计在丈量精度、温度特点、应用静电力停止闭环丈量和自检及易...
  • 基片的刻蚀办法与流程
    本创造触及半导体加工,更详细地,触及一种基片的刻蚀办法。在硅材料的微电机体系(mems)器件制造工艺中,常须要制备硅斜台构造以作为吊颈臂的支撑构造,进而制造各类mems传感器。现有技巧是应用湿法刻蚀办法在硅片上构成斜台构造。由于硅材料具有必定晶向,经过过程沿某些特定晶向停止湿法刻蚀可以...
  • 加强散热Cu-Cu2O核壳纳米线阵列自保护电极及制备办法与流程
    本创造属于金属纳米线,详细触及一种具有抗氧化性能和加强散热功能的cu-cu2o核壳纳米线阵列膜电极及其制备办法。纳米材料可广泛应用于化工、电子、纺织、轻工、军事、医学等范畴,个中最具生长前景的是电子行业。一维构造纳米材料(如纳米线、纳米棒和纳米管等)是以后纳米材料研究的一大年夜热点。一...
  • 一种具有应力释放功能的双端固支板式MEMS构造的制造办法
    本创造触及微电子机械,详细是一种具有应力释放功能的双端固支板式mems构造。微电机体系(microelectro-mechanicalsystems,mems)是在微电子制造技巧基本上生长起来的一门跨学科技巧,应用光刻、刻蚀、成膜、键合等微细加工手段构成电子机械构造,融合了电子、材...
  • 用于对构件停止液体防护并用于构件的通气的装配的制造办法
    本创造触及一种用于对构件停止液体防护并用于其通气的装配。本创造也触及一种用于对构件停止液体防护并用于其通气的办法。虽然可应用于随便任性液体,但本创造参照液体水停止阐释。已知的可透空气的水密膜片局限于低于肯定的最大年夜压力的压力范围。在达到最大年夜压力以后,膜片变得可透过并且水侵入穿过膜片。这类膜片特别...
  • 在微电机体系中供给吸气剂的体系和方法的制造办法
    本地下内容的某些实施例触及在微电机体系(mems)中供给吸气剂的体系和办法。微电机体系(mems)是一组可被制造并且可展示特定机械和/或电子特点的装配。例如:mems装配可以包含移动和变形的才能。在某些情况下,但非全部,mems可以或许和电旌旗灯号互动感化。mems装配是指可以被完成作为微电机体系...
  • 微流控芯片及微流控器件的制造办法
    本创造触及微流控芯片及微流控器件。微流控器件是为了停止流体的分析或分解而具有供液体流过的渺小流路的设备。普通,关于微流控器件的流路,将雷诺数设定得低,从而设计成供层流流过,是以流体的控制性及再现性都高。别的,由于在渺小空间中处理液体,所以可以或许完成装配的小型化、应用的试剂量的增添和反响时间...
  • 一种二维MXene功能化的InxGa1-xN纳米柱及其制备办法与应用与流程
    本创造触及inxga1-xn纳米柱、动力与催化范畴,特别触及一种二维mxene功能化的inxga1-xn纳米柱及其制备办法与应用。光电化学(photoelectrochemical,pec)分化水制氢可以或许将太阳能有效地转换和存储为干净的、可再生的氢能,是处理今朝的动力危机最为有前景的手段之...
  • 一种陶瓷基微热板及其制备办法与流程
    本创造触及电子器件制造,更详细的说,触及一种陶瓷基微热板及其制备办法。基于硅微加工技巧的微热板(microhotplate,mhp)是微电子机械体系(mems)中经常使用的加热平台,已广泛应用于微型气体传感器、微型热式流量计、微型红外探测器和气压计等微器件。微热板的根本构造包含悬空介...
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